愛德華半導(dǎo)體真空泵維修EPX180L

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用

了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

IPX 系列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

應(yīng)用:

EPX 系列涵蓋的應(yīng)用，從水處理到中度工作負(fù)載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負(fù)荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級

管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可化功率效率。

的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續(xù)工作。

超清潔機械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油

脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。

非?？煽縀PX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù)，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，程度地延長了

泵的使用壽命。

可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進行診斷監(jiān)視和控制。 

Edwards Overhaul：愛德華真空泵維修、愛德華真空泵保養(yǎng)、Edwards真空泵維修、Edwards真空泵保養(yǎng)

Leybold Overhaul：萊寶真空泵維修、萊寶真空泵保養(yǎng)、Leybold真空泵維修、Leybold真空泵保養(yǎng)

Busch Overhaul：普旭真空泵維修、普旭真空泵保養(yǎng)、Busch真空泵維修Busch真空泵保養(yǎng)

Becker Overhaul：貝克真空泵維修、貝克真空泵保養(yǎng)、Becker真空泵維修Becker真空泵保養(yǎng) 

Rietschle Overhaul：里其樂真空泵維修、里其樂真空泵保養(yǎng)、Rietschle真空系維修 Rietschle真空泵保養(yǎng)

Pfeiffer Overhaul：普發(fā)真空泵維修、普發(fā)真空泵保養(yǎng)、Pfeiffer真空泵維修、Pfeiffer真空泵保養(yǎng)

Alcatel Overhaul：阿爾卡特真空系維修、阿爾卡特真空泵保養(yǎng)、Alcatel真空泵維修、Alcatel真空泵保養(yǎng) 

eVarian Overhaul：瓦里安真空泵維修、瓦里安真空泵保養(yǎng)、Varian真空泵維修、Varian真空泵保養(yǎng)

eKinney Overhaul：凱尼真空泵維修、凱尼真空泵保養(yǎng)、Kinney真空泵維修、Kinney真空泵保養(yǎng)

Sullair Overhaul：壽力真空泵維修、壽力真空泵保養(yǎng)、Sullair真空泵維修、Sullair真空泵保養(yǎng)

D.V.P.Overhaul：意大利D.V.P.真空泵維修、D.V.P.真空泵保養(yǎng) 

eP.V.R.Overhaul：意大利P.V.R.真空泵維修、P.V.R真空泵保養(yǎng)

.GEV Overhaul：意大利GEV真空系維修、GEV真空泵保養(yǎng) 

Vuototecnica Overhaul

意大利沃泰克真空系維修、沃泰克真空泵保養(yǎng)、Vuototecnica真空系維修、Vuototecnica真空泵保養(yǎng) 

Atlas-Copco Overhaul：阿*·科普柯真空京維修、阿*·科普柯真空泵保養(yǎng)。Atlas·Copco真空泵維修

Shinko Seiki Overhaul

神港精機真空泵維修、神港精機真空泵保養(yǎng)、Shinko Seiki真空泵維修、Shinko Seiki真空泵保養(yǎng)

Maruyama Overhaul：丸山真空泵維修、丸山真空泵保養(yǎng)、Maruyama真空泵維修、Maruyama真空泵保養(yǎng)

oHitachi Overhaul：日立真空泵維修、日立真空泵保養(yǎng)、Hitachi真空泵維修、Hitachi真空泵保養(yǎng)

Hanbell Overhaul：中國臺灣漢鐘真空泵維修、漢鐘真空泵保養(yǎng)、Hanbell真空泵維修、Hanbell真空泵保養(yǎng) 

Woosung Overhaul：韓國優(yōu)成真空泵維修、優(yōu)成真空泵保養(yǎng)、Woosung真空泵維修、Woosung真空泵保養(yǎng) 

Doovac Overhaul：韓國斗一真空泵維修、斗一真空泵保養(yǎng)、Doovac真空泵維修、Doovac真空泵保養(yǎng) 

Kodivac Overhaul：韓國大亞真空泵維修、大亞真空泵保養(yǎng)、Kodivac真空泵維修、Kodivac真空泵保養(yǎng)